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X軸坐標行程 (mm)

150

200

250

295

400

金屬臺面尺寸 (mm)

354×228

404×228

450×280

500×330

606×466

X、Y軸坐標分辨力 (μm)

0.5

0.5

0.5

0.5

0.5

Z軸坐標行程 (mm)

100 (調焦)

100 (調焦)

100 (調焦)

100 (調焦)

100 (調焦)

儀器尺寸 (mm)

780×780×1100

810×780×1120

810×780×1120

900×780×1020

1040×780×1120

旋轉范圍

0~360°

物鏡

放大倍數

10× (選)

20× (選)

50× (選)

100× (選)

工作距離 (mm)

77.7

44.3

38.4

25.3

儀器電源: AC 100-240V 50/60Hz，總功率: 400W